特許
J-GLOBAL ID：200903002269390970
洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
速水 進治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-240360
公開番号（公開出願番号）：特開2009-071201
出願日： 2007年09月18日
公開日（公表日）： 2009年04月02日
要約：
【課題】従来の洗浄装置では、洗浄容器の流入口での洗浄液の圧力の上昇による洗浄異常を防止することができない。【解決手段】洗浄装置110は、ポンプ5により洗浄液3が循環し、上部に流入口を、下部に流出口を有し、内部に被洗浄物を収容する洗浄容器1であって、その洗浄容器1を内部に収容する洗浄塔2の上部に洗浄液3を排出する配管101を備えた構造を有している。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
上部に流入口を、下部に流出口を有し、内部に被洗浄物を収容する洗浄容器と、
内部に前記洗浄容器を保持する洗浄塔と、
洗浄液を貯蔵する洗浄液タンクと、
前記洗浄液タンクと前記洗浄塔との間を洗浄液が循環するように設けられた第1の配管と、
前記第1の配管に設けられ、前記洗浄液タンクから前記洗浄塔へ洗浄液を送出するポンプと、
前記洗浄塔の上部から洗浄液を排出する第2の配管と、
を備え、
洗浄液が前記流入口から前記流出口へ流れることで前記被洗浄物が洗浄されるように構成されたことを特徴とする洗浄装置。
IPC (1件)：
FI (3件)：
H01L21/304 648G
, H01L21/304 642A
, H01L21/304 648K
5F157BB03
, 5F157CD49
, 5F157CE32
, 5F157DA21
