特許

J-GLOBAL ID：200903002286814997

光偏向素子及びその製造方法

発明者： 山野 耕治 ,  蔵本 慶一 ,  伊豆 博昭 ,  平野 均
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社
代理人 (1件)： 芝野 正雅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-286774
公開番号（公開出願番号）：特開2003-098562
出願日： 2001年09月20日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 弾性表面波の伝播速度が速く、高速走査が可能な光偏向素子を提供する。【解決手段】 基板2と、基板2上に設けられた圧電性薄膜からなる光導波層4と、光導波層4上に設けられたダイヤモンド様炭素膜5により光偏向素子を構成する。上記ダイヤモンド様炭素膜を設けることにより弾性表面波の伝播速度が速くなり、高速走査可能になる。また、本発明光偏向素子の製造方法は、基板上に光導波層4を形成する工程と、該光導波層上に、弾性波を誘起または検出するための電極を形成する工程と、該電極を覆って前記光導波層上にダイヤモンド様炭素膜5を直接形成する工程と、を備えることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に設けられた圧電性薄膜からなる光導波層と、前記光導波層上に設けられたダイヤモンド様炭素膜と、を備えたことを特徴とする光偏向素子。

Fターム (13件)：

2K002AA01 ,  2K002AA02 ,  2K002AA06 ,  2K002AB03 ,  2K002BA12 ,  2K002CA02 ,  2K002CA03 ,  2K002DA05 ,  2K002EA04 ,  2K002FA05 ,  2K002FA06 ,  2K002FA24 ,  2K002HA10

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 光偏向素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-040963   出願人：ミノルタ株式会社
• 赤外線用光路の作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-100482   出願人：株式会社半導体エネルギー研究所