特許
J-GLOBAL ID:200903002288734729

サンドブラスト用感光性樹脂積層体

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 鳴井 義夫 ,  清水 猛 ,  伊藤 穣 ,  武井 英夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-199309
公開番号(公開出願番号):特開2006-023369
出願日: 2004年07月06日
公開日(公表日): 2006年01月26日
要約:
【課題】 感度、解像度、密着性に優れ、サンドブラスト用のマスク材として被加工基材に微細なパターンを歩留まりよく加工できる感光性樹脂積層体、及びそれを用いたサンドブラスト表面加工方法を提供する。【解決手段】 特定のポリウレタンプレポリマーと、アルカリ可溶性高分子と、光重合開始剤と、エチレン性不飽和付加重合性モノマーより成る感光性樹脂組成物、またはそれを支持体上に積層した感光性樹脂積層体を用いて、サンドブラスト表面加工を行う。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
(i)末端に水酸基を有するポリマーまたはモノマー(a)と、ポリイソシアネート(b)と、活性水素を有する官能基とエチレン性不飽和結合を分子内に共に有する化合物(c)より得られるポリウレタンプレポリマー10〜70質量%と、(ii)アルカリ可溶性高分子10〜70質量%と、(iii)光重合開始剤0.01〜20質量%と、(iv)エチレン性不飽和付加重合性モノマー5〜40質量%より成る感光性樹脂組成物において、前記末端に水酸基を有するポリマーまたはモノマー(a)の50質量%以上が、下記化学式(1)または(2)で示される化合物からなる群より選ばれる1種類以上の化合物であることを特徴とするサンドブラスト用感光性樹脂組成物。
IPC (2件):
G03F 7/027 ,  B32B 27/40
FI (2件):
G03F7/027 513 ,  B32B27/40
Fターム (26件):
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA14 ,  2H025AB20 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC66 ,  2H025CA01 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CB52 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  4F100AD00B ,  4F100AG00B ,  4F100AK01B ,  4F100AK24A ,  4F100AK41B ,  4F100AK51A ,  4F100AL05A ,  4F100AT00B ,  4F100BA02 ,  4F100CA30A ,  4F100JK06 ,  4F100JK14
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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