特許
J-GLOBAL ID:200903041149966181

サンドブラスト用感光性樹脂積層体

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 野崎 銕也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-309904
公開番号(公開出願番号):特開平10-138142
出願日: 1996年11月07日
公開日(公表日): 1998年05月26日
要約:
【要約】【課題】 ガラス、セラミック等の被加工基材に適用する際に感度、解像度、現像性、密着性に優れ、サンドブラスト用のマスク材として被加工基材に微細なパターンを歩留まりよく加工できる感光性樹脂組成物積層体を提供する。【解決手段】 支持体、第1の感光性樹脂層、第2の感光性樹脂層又は、支持体、第1の感光性樹脂層、第2の感光性樹脂層、保護層を順次積層してなるサンドブラスト用感光性樹脂組成物積層体において、第1の感光性樹脂層が(メタ)アクリロニトリルを含有するアルカリ可溶性ビニル共重合体、末端にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタンポリマーもしくはオリゴマー、エチレン性不飽和付加重合性モノマー、光重合開始剤を含有し、第2の感光性樹脂層が(メタ)アクリロニトリルを必ずしも必要としないアルカリ可溶性ビニル共重合体、エチレン性不飽和付加重合性モノマー、光重合開始剤を含有することからなる積層体。
請求項(抜粋):
支持体(A)、第1の感光性樹脂層(B)、第2の感光性樹脂層(C)を順次積層してなるサンドブラスト用感光性樹脂積層体において、第1の感光性樹脂層(B)が(i)α、β-不飽和カルボン酸の中から選ばれる少なくとも1種の第1単量体と、アルキル(メタ)アクリレート、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミドとその窒素上の水素をアルキル基またはアルコシキ基に置換した化合物、スチレン及びスチレン誘導体、及び(メタ)アクリル酸グリシジルの中から選ばれる少なくとも1種の第2単量体、(メタ)アクリロニトリルから選ばれる少なくとも1種の第3単量体をビニル共重合して得られる重量平均分子量が2万から30万のビニル共重合体と、(ii)末端にエチレン性不飽和結合を有するウレタンポリマーもしくはオリゴマーと、(iii)エチレン性不飽和付加重合性モノマーと、(iv)光重合開始剤を含有し、第2の感光性樹脂層(C)が(v)α、β-不飽和カルボン酸の中から選ばれる少なくとも1種の第4単量体と、アルキル(メタ)アクリレート、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミドとその窒素上の水素をアルキル基またはアルコシキ基に置換した化合物、スチレン及びスチレン誘導体、(メタ)アクリロニトリル、及び(メタ)アクリル酸グリシジルの中から選ばれる少なくとも1種の第5単量体をビニル共重合して得られる重量平均分子量2万〜30万のビニル共重合体と、(vi)エチレン性不飽和付加重合性モノマーと、(vii)光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂積層体。
IPC (2件):
B24C 1/04 ,  B32B 27/30
FI (2件):
B24C 1/04 C ,  B32B 27/30 A
引用特許:
審査官引用 (5件)
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