特許
J-GLOBAL ID：200903002295526627
ロードポート
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
正林 真之
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2004009041
公開番号（公開出願番号）：WO2005-124853
出願日： 2004年06月21日
公開日（公表日）： 2005年12月29日
要約：
ロードポート(100)は、ウエハキャリア(10)を載置するための載置台(101)と、ウエハキャリア(10)の雰囲気を置換するためのパージガスを、ウエハキャリア(10)のウエハ(1)間の隙間(A)に対して略平行に流出及び/又は流入させるノズル口(111)を有するノズル部(110)と、ノズル部(110)を、基板処理装置が内部にあるクリーンルームの壁面(201)付近に形成されたロードポート(100)の扉開口部(202)に進出させるノズル駆動用モータ(166)等を含む駆動部と、容器開口部(12)に気密に連結して、ウエハキャリア(10)の内部空間と連続する密閉空間(B)を形成する密閉空間形成部(120)と、ウエハキャリア(10)の雰囲気のパージ度合を示す酸素濃度に応じて、ノズル部(110)でのパージガスの流れを切換え制御する制御部(160)等とを備えている。
請求項（抜粋）：
容器開口部に対向する位置に曲面状の内壁を有し、その内部に所定間隔で基板を収納する基板収納容器の前記容器開口部の蓋部材を、前記基板が搬送される部屋の扉開口部の扉部材に係合させて、前記蓋部材を着脱するロードポートであって、
前記基板収納容器の雰囲気を置換するためのガスを、前記基板収納容器の前記基板間の隙間に対して略平行に流出及び/又は流入させるノズル口を有するノズル部と、
前記扉開口部に、前記ノズル部を進出させる駆動部と、
を含むロードポート。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
5F031CA02
, 5F031DA01
, 5F031FA01
, 5F031FA09
, 5F031FA11
, 5F031GA48
, 5F031GA49
, 5F031HA42
, 5F031NA02
, 5F031NA09
, 5F031NA15
, 5F031PA24
