特許
J-GLOBAL ID：200903002299272085
スクリュー型真空ポンプおよびスクリュー加工機
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 茂 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-137846
公開番号（公開出願番号）：特開平10-311288
出願日： 1997年05月12日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：
【要約】【課題】 スクリューのリ-ド角を従来のものに比べて小さく形成することにより、ブローホールをより小さくすることができ、到達真空度の向上を図ることのできるスクリュ-ポンプを提供する。【解決手段】 相互に噛み合って回転する雄雌一対のスクリュー1、2と、これらのスクリューを回転させる駆動装置とを備えたスクリュー型真空ポンプにおいて、軸直角断面が軸線のいずれの位置においても同一であり、かつリ-ド角αが40度未満の角度となるよう切削または研削による創生法で加工されたスクリューが用いられる。前記リ-ド角αは6度乃至25度の範囲の角度であることが好ましく、吸気側のリ-ド角αが40度未満であってかつ吸気側から排気側に向かって漸次リ-ド角が小さくなるよう切削または研削による創生法で加工されたスクリューを用いるのが好ましい。
請求項（抜粋）：
相互に噛み合って回転する雄雌一対のスクリューと、これらのスクリューを回転させる駆動装置とを備えたスクリュー型真空ポンプにおいて、前記各スクリューとして、軸直角断面が軸線のいずれの位置においても同一であり、かつリ-ド角が40度未満の角度となるよう切削または研削による創生法で加工されたスクリューを用いたことを特徴とするスクリュー型真空ポンプ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
F04C 18/16 B
, F04C 18/16 T
, F04C 25/02 M
