特許

J-GLOBAL ID：200903002301903675

電極、表面処理方法及び表面処理装置

発明者： 福田 和浩 ,  近藤 慶和 ,  戸田 義朗
出願人/特許権者： コニカ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-195587
公開番号（公開出願番号）：特開平11-043781
出願日： 1997年07月22日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：

【要約】【課題】 長時間安定して放電プラズマを発生できる耐久性のよい電極を提供する。【解決手段】 一対の対向する電極間に基材を保持し、前記電極間に電圧を印加して前記基材に表面処理を行う表面処理装置に用いる電極において、一対の対向する前記電極の少なくとも一方の対向面に焼結型セラミックスを用いたことを特徴とする電極である。

請求項（抜粋）：

一対の対向する電極間に基材を位置させ、前記電極間に電圧を印加して前記基材に表面処理を行う表面処理装置に用いる電極において、一対の対向する前記電極の少なくとも一方の対向面に焼結型セラミックスを設けたことを特徴とする電極。

IPC (6件)：

C23C 26/00 ,  C23C 16/50 ,  H01J 37/32 ,  H05H 1/46 ,  C08J 7/00 306 ,  H01L 21/205

FI (6件)：

C23C 26/00 D ,  C23C 16/50 ,  H01J 37/32 ,  H05H 1/46 A ,  C08J 7/00 306 ,  H01L 21/205

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 基板の表面処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-227751   出願人：積水化学工業株式会社
• 基板の表面処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-219979   出願人：積水化学工業株式会社
• 特開昭64-072902