特許

J-GLOBAL ID：200903002312019700

アクチュエータ及びインクジェットヘッドの製造方法

発明者： 福井 哲朗 ,  伊福 俊博 ,  松田 堅義 ,  池末 明生
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-116052
公開番号（公開出願番号）：特開2003-309304
出願日： 2002年04月18日
公開日（公表日）： 2003年10月31日
要約：

【要約】【課題】 単結晶圧電膜あるいは単一配向の多結晶膜を利用した大面積・長尺のアクチュエーター及びインクジェットヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】 接合された単結晶基板(好ましくは、MgO, STO, BaTiO3、Yあるいは希土類でドープされていても良いZrO2基板)の上に単結晶圧電膜を成膜し、これを振動板構造部材に接合後、上記結晶板を除去し、アクチュエーター及びインクジェットヘッドの製造する。接合された基板の接合部を介して測定された表面粗度Raが15nm以下のものを用いることにより、より優れたデバイスを作製することが出来、インクジェットヘッド作製に利用した場合、高密度・大面積な特性の良いヘッドを得ることが出来る。

請求項（抜粋）：

単結晶基板上に形成された圧電膜を振動板構造部材に接合した後、前記単結晶基板を除去しアクチュエータを製造するアクチュエータの製造方法であって、前記単結晶基板が複数枚の単結晶基板を互いに接合した接合部を有する基板であることを特徴とするアクチュエータの製造方法。

IPC (3件)：

H01L 41/22 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/18

FI (3件)：

H01L 41/22 Z ,  H01L 41/18 101 Z ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (7件)：

2C057AF93 ,  2C057AG82 ,  2C057AP14 ,  2C057AP23 ,  2C057AP24 ,  2C057AP33 ,  2C057AQ10

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 複合基板及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-061504   出願人：セイコーエプソン株式会社
• MgO単結晶基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-098130   出願人：黒崎窯業株式会社