特許
J-GLOBAL ID:200903002353224717

弾性表面波装置及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-199131
公開番号(公開出願番号):特開2002-016466
出願日: 2000年06月30日
公開日(公表日): 2002年01月18日
要約:
【要約】【課題】 振動空間を気密し、かつ衝撃に対して強固な保護構造をもつ弾性表面波装置とその製造方法を提供する。【解決手段】 圧電基板1上に励振電極3を配設して成る弾性表面波装置において、圧電基板1上に開口部7を備えた第1の保護部材6を接合させ、励振電極3を振動空間をもたせた状態で被覆するとともに、第1の保護部材6の開口部7を第2の保護部材9で閉塞したことを特徴とする。
請求項(抜粋):
圧電基板上に励振電極を配設して成る弾性表面波装置において、前記圧電基板上に開口部を備えた第1の保護部材を接合させ、前記励振電極を振動空間をもたせた状態で被覆するとともに、前記第1の保護部材の開口部を第2の保護部材で閉塞したことを特徴とする弾性表面波装置。
IPC (2件):
H03H 3/08 ,  H03H 9/25
FI (2件):
H03H 3/08 ,  H03H 9/25 A
Fターム (16件):
5J097AA29 ,  5J097AA32 ,  5J097DD29 ,  5J097EE05 ,  5J097FF01 ,  5J097FF03 ,  5J097GG01 ,  5J097GG03 ,  5J097GG04 ,  5J097HA02 ,  5J097HA03 ,  5J097HA04 ,  5J097HA07 ,  5J097JJ06 ,  5J097KK09 ,  5J097KK10
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (4件)
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