光偏向器及びその駆動方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-116936
公開番号（公開出願番号）：特開2009-265479
出願日： 2008年04月28日
公開日（公表日）： 2009年11月12日
要約：

【課題】従来よりも小さい駆動電力で、レーザー光を広い範囲に走査、偏向することが可能な光偏向器及びその駆動方法を提供する。【解決手段】開口部11aを有する枠部11、開口部内に配置された板状のミラー部12、枠部とミラー部とを連結する一対の梁部13a,13bを有する光偏向部10と、これに離間して設けられた永久磁石2とを備え、一対の梁部は、その各重心を結ぶ線y1がミラー部の重心O12を通るように配置され、ミラー部は、その一面A12が光を反射する反射面であり、一面とは反対側の面B12に、上記線に対して対称に配置された一対のコイル15a,15bを有し、永久磁石は、一対のコイルとそれぞれ対向する一対の傾斜面部17a,17bを有し、一対のコイルと一対の傾斜面部との距離La,Lbが、ミラー部の重心に近づくに従ってそれぞれ短くなるように構成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

開口部を有する枠部、前記開口部内に配置された板状のミラー部、及び前記枠部と前記ミラー部とを連結する一対の梁部を有する光偏向部と、前記光偏向部に離間して設けられた永久磁石と、を備え、前記一対の梁部は、前記一対の梁部の各重心を結ぶ線が前記ミラー部の重心を通るように配置され、前記ミラー部は、その一面が外部から前記ミラー部に向かって照射された光を反射する反射面であり、前記一面とは反対側の面に、前記線に対して対称に配置された一対のコイルを有し、前記永久磁石は、前記一対のコイルとそれぞれ対向する一対の傾斜面部を有し、前記一対のコイルと前記一対の傾斜面部との距離が、前記ミラー部の重心に近づくに従ってそれぞれ短くなるように構成されてなる光偏向器。

IPC (3件)：

G02B 26/10 , G02B 26/08 , H04N 1/036

FI (3件)：

G02B26/10 104Z , G02B26/08 E , H04N1/036 Z

Fターム (34件)：

2H045AB06 , 2H045AB13 , 2H045AB16 , 2H141MA12 , 2H141MB24 , 2H141MC05 , 2H141MD12 , 2H141MD13 , 2H141MD16 , 2H141MD20 , 2H141MD23 , 2H141MD24 , 2H141MD40 , 2H141MF10 , 2H141MF22 , 2H141MG01 , 2H141MG06 , 2H141MG07 , 2H141MG10 , 2H141MZ06 , 2H141MZ16 , 2H141MZ19 , 2H141MZ26 , 5C051AA02 , 5C051CA07 , 5C051DB02 , 5C051DB08 , 5C051DB24 , 5C051DB30 , 5C051DC01 , 5C051DC07 , 5C051DE02 , 5C051DE09 , 5C051DE26

引用特許：

出願人引用 (1件)

微細ミラーアレイのミラー駆動方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-030796 出願人：三星電機株式会社

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