特許

J-GLOBAL ID：200903002376489432

縦型ウエーハボート

発明者： 森 利之 ,  須崎 真年
出願人/特許権者： 株式会社テクニスコ
代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-095199
公開番号（公開出願番号）：特開平9-283455
出願日： 1996年04月17日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】 縦型ウエーハボートにおいて、ウエーハを支持する支持部に対してウエーハの荷重が均等に分散しなかったこと、及び支持部とウエーハとの温度上昇率が異なっていたことにより生じていたスリップを回避すること。【解決手段】 本発明に係る縦型ウエーハボートにおいては、ウエーハを3点で支持することにより、ウエーハの荷重を支持部において均等に分散することができ、更に支持部の厚みを略ウエーハと同じ厚さにすることにより、熱伝導による温度上昇率を同じにすることで、スリップを解消することができるのである。

請求項（抜粋）：

少なくともウエーハを支持する支持本体と、該支持本体を上下で支持する上部支持体と下部支持体とを含み、前記支持本体には、ウエーハを3点で支持する支持部が複数形成されており、該支持部はウエーハの厚みと略同じ厚さに形成したことを特徴とする縦型ウエーハボート。

IPC (6件)：

H01L 21/22 511 ,  H01L 21/22 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/324 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

H01L 21/22 511 G ,  H01L 21/22 511 M ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 F ,  H01L 21/324 D ,  H01L 21/68 N

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 熱処理用ボート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-031315   出願人：東京エレクトロン東北株式会社
• ウェーハ支持ボート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-327601   出願人：株式会社テクニスコ
• 半導体ウエハの熱処理用搭載治具及び熱処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-170259   出願人：東京エレクトロン株式会社