特許
J-GLOBAL ID：200903002438059774
流量制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-357987
公開番号（公開出願番号）：特開平6-193761
出願日： 1992年12月25日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 小型にして配管の自由度を向上させ、かつメンテナンスを容易にした流量制御装置を提供する。【構成】 基体34に流体の入口31と出口32とを連通する流路33を設ける。流路33中にガス流量調節機構35と、流路33内のガスの流量を検出する流量検出センサ36と、この流量検出センサ36によりガスの流量が所定の値となるようにガス流量調節機構35の制御を行う制御機構37とを設ける。そして、基体34の入口31又は出口32の少なくとも一方を、流路33に対して直交する方向に位置させて流路33と入口31又は出口の少なくとも一方とでL字状の流路を形成する。これにより、基体34とガス供給配管23とを立体的に接続することができ、配管を容易にすると共に、流量制御装置のメンテナンスの向上を図ることができる。
請求項（抜粋）：
流体の入口と出口とを連通する流路を有する基体と、この基体の流路中の流体の流量を制御する流量調節手段と、上記流路内の流体の流量を検出する流量検出手段と、この流量検出手段により流体の流量が所定の値となるように上記流量調節手段の制御を行う制御手段とを具備する流量制御装置において、上記基体の流体の入口又は出口の少なくとも一方を、上記流路に対して直交する方向に位置させたことを特徴とする流量制御装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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