特許
J-GLOBAL ID：200903002468400829
電子銃及び該電子銃を備えた電子線転写装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-338373
公開番号（公開出願番号）：特開平9-180663
出願日： 1995年12月26日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：
【要約】【課題】 広い視野に均一な強度分布の電子線を照射できると共に、必要に応じて輝度の可変範囲を広く取れる電子銃を提供する。【解決手段】 カソード31の電子ビームEBの放出面31aを円形の平面に加工する。カソード31から光軸AXに沿って順にウェーネルト34、アノード35、及びアース電極36を配置する。ウェーネルト34は、先端部34cの上面34aを開き半角θ1が67.5°の円錐面となるように加工し、アノード35は、先端部35dの上面35aをカソード31に対して凸の円錐面となるように加工し、底面35bをカソード31に対して凹の円錐面として、アノード35にはカソード31の電位より100V〜10kV高い可変電位を印加する。アース電極36の底面36bをアノード35に対して凸の円錐面とする。
請求項（抜粋）：
電子線の放出面が円形状の平面に形成されたカソードから電子線の放出方向に順次、前記カソード以下の電位が印加された集束電極と、前記カソードより高い電位が印加されたアノードと、接地された接地電極と、を配置したことを特徴とする電子銃。
IPC (4件)：
H01J 37/073
, G03F 7/20 504
, H01J 37/305
, H01L 21/027
H01J 37/073
, G03F 7/20 504
, H01J 37/305 B
, H01L 21/30 541 B
