青色発光部材の製造方法及び発光素子

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (4件)：中島淳 , 加藤和詳 , 西元勝一 , 福田浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-080148
公開番号（公開出願番号）：特開2008-244005
出願日： 2007年03月26日
公開日（公表日）： 2008年10月09日
要約：

【課題】イオン注入法を用い、青色領域で発光するSi系発光材料の製造方法、及びその方法により製造された青色発光部材を用いた発光素子を提供する。【解決手段】水晶又は溶融石英部材10に対し、所定の照射条件でSiイオンを注入した後、好ましくは、所定温度で所定時間アニール処理を施すことにより、青色光を発する部材を製造することを特徴とする青色発光部材の製造方法。好ましくは、前記照射条件を、少なくとも80keVのエネルギーで、注入Siイオンの注入量を5×1016ions/cm2以上とし、前記アニール処理を、1100°Cより高く、1300°C以下の温度で15分〜1時間、より好ましくは20分〜30分行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：