特許

J-GLOBAL ID：200903002489559070

電磁力制御式超小型ミラ-アレイ

発明者： ディーン・トラン ,  エドワード・エイ・レゼク ,  エリック・アール・アンダーソン ,  ウィリアム・エル・ジョーンズ
出願人/特許権者： ティーアールダブリュー・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 社本 一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-325368
公開番号（公開出願番号）：特開2000-155274
出願日： 1999年11月16日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：

【要約】【課題】 デジタル画像処理の用途で使用するための超小型ミラー装置を提供する。【解決手段】 超小型ミラー装置(10)には、デジタル画像処理の用途で使用するための回転自在の光学素子(22)が設けられている。超小型ミラー装置(10)は、凹所(14)が形成された半導体ウェーハ(12)と、光学素子(22)を付着した、凹所(14)の側面に移動自在に連結されたプラットホーム(20)とを含む。第1磁界源(24)がプラットホーム(20)の光学素子(22)の周囲に亘って配置されており、第2磁界源(26)が、この第1磁界源(24)と近接して、これらの磁界源を選択的に賦勢することによってプラットホーム(20)を回転するための電磁界を発生するように配置されている。更に詳細には、第2磁界源(26)は、凹所(14)の角度をなした側面に、又はウェーハ(12)の上面に凹所(14)と隣接して配置されている。

請求項（抜粋）：

デジタル画像プロセッサで使用するための超小型ミラー装置において、凹所が形成された基材と、前記基材に回転可能に取り付けられたプラットホームと、前記プラットホームに付着させた光学素子と、前記プラットホームに付着させた第1磁界源と、前記プラットホームの近くに付着させた第2磁界源とを有し、前記第1及び第2の磁界源は、前記プラットホームを作動するための電磁界を発生するために選択的に賦勢できる、超小型ミラー装置。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 変位検出機能を備えたプレーナー型ガルバノミラー及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-009824   出願人：江刺正喜, 日本信号株式会社