基板搬送装置および基板搬送方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川崎実夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-118581
公開番号（公開出願番号）：特開2002-313886
出願日： 2001年04月17日
公開日（公表日）： 2002年10月25日
要約：

【要約】【課題】簡単で安価な構成で、基板保持ハンド上における基板の位置決めを速やかに行う。【解決手段】インデクサロボットIRは、一対のハンド11,12を有する。主搬送ロボットCRも、一対のハンド21,22を有する。ハンド21からハンド11へとウエハWが直接受け渡され、ハンド12からハンド22へとウエハWが直接受け渡される。ウエハWの受け渡しに先立ち、ハンド21,12は、受け渡し位置WTから位置決めピン71,72に向かって移動される。これにより、ハンド21,12上のウエハWが水平相対移動して、ハンド21,12上の各所定位置に導かれる。その後に、ハンド11,22が、ウエハWをすくい取る。

請求項（抜粋）：

基板を保持して移動可能な第1基板保持ハンドを有する第1基板搬送機構と、上記第1基板保持ハンドに保持された基板の移動経路において上記第1基板搬送機構とは独立して配置され、基板の移動を規制することにより、上記第1基板保持ハンド上の所定位置に基板を位置決めする位置決め当接部を有する第1位置決め機構とを含むことを特徴とする基板搬送装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , B25J 9/06 , B25J 15/08 , B65G 49/06 , B65G 49/07

FI (6件)：

H01L 21/68 G , H01L 21/68 A , B25J 9/06 D , B25J 15/08 Z , B65G 49/06 Z , B65G 49/07 C

Fターム (34件)：

3C007AS24 , 3C007BS15 , 3C007BS26 , 3C007CS03 , 3C007CT05 , 3C007CV07 , 3C007CW07 , 3C007DS01 , 3C007ES17 , 3C007EV07 , 3C007EV28 , 3C007JS02 , 3C007JS06 , 3C007LV02 , 3C007NS09 , 3C007NS13 , 5F031CA01 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031FA15 , 5F031GA38 , 5F031GA43 , 5F031GA44 , 5F031GA50 , 5F031KA02 , 5F031KA10 , 5F031MA23 , 5F031MA24 , 5F031PA09 , 5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開平4-030549
基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-245914 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-345155 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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