特許
J-GLOBAL ID：200903002510420002

固体レーザ装置

発明者：
後藤 哲男

後藤 哲男 について


出願人/特許権者：
有限会社サイファー社

有限会社サイファー社 について


代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-185966
公開番号（公開出願番号）：特開2001-015844
出願日： 1999年06月30日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：
【要約】【課題】 品質のよい安定した高出力なレーザ光を安価に得ることができる。【解決手段】 励起チャンバが保持するスラブ型レーザ媒体110の側面(幅方向の端面)全面に接する基板に有する少なくとも一つの流路81に流体を流し、バルブ駆動部83の制御により流体の量または速度を調整バルブ82で調整してスラブ型断面の幅方向の温度分布を均一化することにより、レーザ媒体110内部での熱レンズ効果と熱複屈折効果との発生を抑制する。この結果、スラブ型レーザ媒体110全体の作動を効率よくできる。バルブ駆動部83は、光検出装置60が検出用レーザ光70により透過光の方向、強度分布、偏光の変化等をモニタして出力した光情報に基づいて、または温度検出信号処理器85が流路81に対応する温度センサ84により検出した検出信号を処理して出力した温度情報に基づいて適正処理する帰還制御回路80により制御されている。
請求項（抜粋）：
レーザ光の伝搬方向(Z軸方向)に対し垂直に切断して得られる矩形断面が有する幅方向(X軸方向)および厚さ方向(Y軸方向)に対しX-Z平面に平行な二つの平面を励起面とするスラブ型のレーザ媒体を収納した励起チャンバを有する固体レーザ装置において、前記レーザ媒体におけるY-Z平面に平行な側面である前記幅方向の二つの端面全面に沿って密接し、液体および気体の少なくとも一方よりなる流体を流す少なくとも一つの流路を有する基板を備えることを特徴とする固体レーザ装置。
IPC (3件)：
H01S 3/131 ,  H01S 3/042 ,  H01S 3/06
FI (3件)：
H01S 3/131 ,  H01S 3/06 Z ,  H01S 3/04 L
Fターム (10件)：
5F072AB02 ,  5F072AK03 ,  5F072HH02 ,  5F072HH03 ,  5F072JJ04 ,  5F072JJ05 ,  5F072JJ08 ,  5F072KK03 ,  5F072KK15 ,  5F072TT22
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM