特許
J-GLOBAL ID：200903002543506115
ガラス基板の枚葉搬送装置
出願人/特許権者：
日立機電工業株式会社
日立機電工業株式会社 について
代理人 (1件)： 森 治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-098349
公開番号（公開出願番号）：特開2003-292153
出願日： 2002年04月01日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 大形化及び薄形化されたガラス基板の場合であっても、ガラス基板を、1枚ずつ確実に、かつガラス基板に大きな曲げ応力がかかることなく搬送することが可能なガラス基板の枚葉搬送装置を提供する。【解決手段】 ガラス基板Gを搬送する枚葉搬送台1の少なくとも一端に、移載装置のフォーク5との間でガラス基板Gを受け渡すガラス基板の載置部2を形成したガラス基板枚葉搬送装置において、枚葉搬送台1の表面に多数の微小径のエア噴出口を形成することによりガラス基板Gを浮上させるとともに、枚葉搬送台1の両側部に駆動機構によって回転駆動されるローラを並設し、ローラ間でガラス基板Gを挟持することによりガラス基板Gを搬送するようにする。
請求項（抜粋）：
ガラス基板を搬送する枚葉搬送台の少なくとも一端に、移載装置のフォークとの間でガラス基板を受け渡すガラス基板の載置部を形成したガラス基板枚葉搬送装置において、枚葉搬送台の表面に多数の微小径のエア噴出口を形成することによりガラス基板を浮上させるとともに、枚葉搬送台の両側部に駆動機構によって回転駆動されるローラを並設し、該ローラ間でガラス基板を挟持することによりガラス基板を搬送するようにしたことを特徴とするガラス基板の枚葉搬送装置。
IPC (5件)：
FI (5件)：
Fターム (17件)：
3F033BA04
, 3F033BB16
, 3F033BC03
, 3F033BC08
, 3F033GA09
, 3F033GB08
, 3F033GD02
, 3F033GE07
, 5F031CA05
, 5F031FA02
, 5F031FA07
, 5F031FA14
, 5F031GA63
, 5F031LA11
, 5F031LA13
, 5F031PA18
, 5F031PA26
引用特許：
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