ホログラフィック光学素子及びその作製方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：韮澤弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-247757
公開番号（公開出願番号）：特開平10-096807
出願日： 1996年09月19日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】回折効率の波長依存性がなく、高次回折光が発生しないホログラフィック光学素子とその作製方法。【解決手段】干渉縞に対応する複数の溝12を基板11面に対して垂直でなく斜めに傾いた方向に設けてなる。このような溝12は異方性エッチングにより形成することができる。

請求項（抜粋）：

干渉縞に対応する複数の溝を基板面に対して垂直でなく斜めに傾いた方向に設けてなることを特徴とするホログラフィック光学素子。

IPC (5件)：

G02B 5/18 , G02B 5/20 101 , G02B 5/32 , G02F 1/1335 505 , G03H 1/18

FI (5件)：

G02B 5/18 , G02B 5/20 101 , G02B 5/32 , G02F 1/1335 505 , G03H 1/18

引用特許：

審査官引用 (4件)

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