特許

J-GLOBAL ID：200903002566765380

基板収納容器

発明者： 藤森 義昭 ,  高橋 正人
出願人/特許権者： 信越ポリマー株式会社
代理人 (1件)： 藤本 英介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-112509
公開番号（公開出願番号）：特開2000-306988
出願日： 1999年04月20日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】 複数の搬送方法に対応でき、選択された搬送方法に必要な部品のみを使用して共通性、軽量性、取扱性、及び保管性等を向上させ得る基板収納容器を提供する。【解決手段】 複数枚のウェーハを整列収納する容器本体1の開口正面を蓋体12で閉鎖してシールする基板収納容器であって、容器本体1の各側壁内面に一体成形されて上下に並ぶウェーハ用の整列支持溝2と、容器本体1の底面に装着されるボトムプレート14と、容器本体1の天井に成形されてロボティックフランジ21を着脱自在に支持する上部取付機構17と、容器本体1の各側壁外面に成形されてサイドレール29を着脱自在に支持する一対の下側部取付機構25と、容器本体1の各側壁外面に成形されてマニュアルハンドル38を着脱自在に支持する一対の側部取付機構34とを備える。そして、工場の仕様や選択された搬送方法等を考慮し、ロボティックフランジ21、左右一対のサイドレール29、及び又は左右一対のマニュアルハンドル38を選択的に支持させる。

請求項（抜粋）：

基板を収納する容器本体の開口一端面を蓋体で閉鎖してシールする基板収納容器であって、上記容器本体の各側壁内面に一体形成されて上下に並ぶ上記基板用の整列支持溝と、上記容器本体の底面に取り付けられるボトムプレートと、上記容器本体の天井に設けられてロボティックフランジを着脱自在に支持する上部取付機構と、上記容器本体の各側壁外面に設けられてサイドレールを着脱自在に支持する下側部取付機構と、上記容器本体の各側壁外面に設けられてマニュアルハンドルを着脱自在に支持する側部取付機構とを含み、上記ロボティックフランジ、上記サイドレール、及び又は上記マニュアルハンドルを選択的に支持させるようにしたことを特徴とする基板収納容器。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/86

FI (2件)：

H01L 21/68 V ,  B65D 85/38 R

Fターム (23件)：

3E096AA06 ,  3E096BA15 ,  3E096BA16 ,  3E096BA20 ,  3E096BB03 ,  3E096DA05 ,  3E096DA17 ,  3E096DA30 ,  3E096FA07 ,  3E096FA12 ,  3E096FA14 ,  3E096GA02 ,  3E096GA03 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031DA08 ,  5F031EA02 ,  5F031EA04 ,  5F031EA11 ,  5F031EA14 ,  5F031EA19 ,  5F031EA20

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ウェーハキャリアケース
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-019682   出願人：新日本製鐵株式会社
• ウェハー搬送モジュール
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-196035   出願人：フルオロウェア・インコーポレーテッド