特許
J-GLOBAL ID：200903067395349352

ウェハー搬送モジュール

発明者：
デービッド・エル・ナイセス

デービッド・エル・ナイセス について

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デニス・ジェイ・クランポティッチ

デニス・ジェイ・クランポティッチ について

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トッド・エム・アルシュミット

トッド・エム・アルシュミット について

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グレゴリー・ダブリュー・ボアーズ

グレゴリー・ダブリュー・ボアーズ について


出願人/特許権者：
フルオロウェア・インコーポレーテッド

フルオロウェア・インコーポレーテッド について


代理人 (1件)： 岡田 英彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-196035
公開番号（公開出願番号）：特開平11-091864
出願日： 1998年07月10日
公開日（公表日）： 1999年04月06日
要約：
【要約】【課題】金属製の留め具を利用することなくハンドルを取付けたり取り外したりできるウェハー搬送用のウェハー搬送モジュールの提供。【解決手段】ウェハー搬送モジュール20のシェル58には開閉可能なドア24が備えられている。中央支持構造60はシェル58の底部において露出する処理装置55とのインターフェース部56と、ウェハー38を支持するためにウェハー搬送モジュール20内を上方に延びる一体構造のウェハー支持コラム92とを有する。また、シェル58の側壁74、76には、取り外し可能なハンドル28に設けられた係合部材242と協動する係合部材254を備えた溝78を有している。ハンドル28には、このハンドル28を側壁74、76の所定の位置へロックするための戻り止め246が設けられている。
請求項（抜粋）：
上部と、底部と、開口した内部と、ウェハーを挿入したり取り出したりするための開口した前部とを有するウェハー用の搬送モジュールであって、a)左側の側壁と、右側の側壁と、開口した前部と、少なくとも一つの下側開口部を有する底部とを有するシェルと、b)ウェハーを軸方向に整列した状態で支持するためのウェハー支持棚を有する少なくとも二つのコラムと、前記下側開口部から露出する一体化された下側装置係合部とを有し、前記ウェハー支持部材が前記シェルの開口した内部に配置されてウェハー受容領域を形成する中央支持構造と、c)当該搬送モジュールの開口した前部を閉じるためのドアと、を有するウェハー搬送モジュール。
IPC (4件)：
B65D 85/86 ,  B65D 85/00 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68
FI (4件)：
B65D 85/38 R ,  B65D 85/00 H ,  B65G 49/07 L ,  H01L 21/68 T
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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