成膜用マスク及びマスク密着方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：吉井剛 , 吉井雅栄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-322422
公開番号（公開出願番号）：特開2009-144195
出願日： 2007年12月13日
公開日（公表日）： 2009年07月02日
要約：

【課題】基板と良好に密着して成膜パターン精度の良い成膜を可能とした極めて実用性に秀れた成膜用マスク及びマスク密着方法の提供。【解決手段】成膜材料の通過を許容する開口パターンを有するマスク本体1と、このマスク本体1を保持する保持フレーム2とから成り、前記開口パターンを介して前記成膜材料が付着せしめられる基板6が積層される成膜用マスクであって、前記保持フレーム2は、前記マスク本体1の4辺のうち対向する一対の辺部3に沿って夫々配設されこの一対の辺部3を夫々保持する一対の保持部4を備え、この一対の保持部4によってのみ前記マスク本体1を保持するように構成し、前記一対の保持部4によって保持される前記一対の辺部3間で前記マスク本体1が自重によって撓み且つこの一対の辺部3の対向方向で前記撓み量が変化するようにこの一対の辺部3を前記一対の保持部4に固定する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

成膜材料の通過を許容する開口パターンを有するマスク本体と、このマスク本体を保持する保持フレームとから成り、前記開口パターンを介して前記成膜材料が付着せしめられる基板が積層される成膜用マスクであって、前記保持フレームは、前記マスク本体の4辺のうち対向する一対の辺部に沿って夫々配設されこの一対の辺部を夫々保持する一対の保持部を備え、この一対の保持部によってのみ前記マスク本体を保持するように構成し、前記一対の保持部によって保持される前記一対の辺部間で前記マスク本体が自重によって撓み且つこの一対の辺部の対向方向で前記撓み量が変化するようにこの一対の辺部を前記一対の保持部に固定したことを特徴とする成膜用マスク。

IPC (1件)：

C23C 14/04

FI (1件)：

C23C14/04 A

Fターム (5件)：

4K029AA02 , 4K029AA09 , 4K029AA11 , 4K029AA24 , 4K029HA04

引用特許：

出願人引用 (1件)

蒸着方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-334172 出願人：九州日立マクセル株式会社

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