特許
J-GLOBAL ID：200903084846386178
蒸着方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-334172
公開番号（公開出願番号）：特開2007-138256
出願日： 2005年11月18日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：
【課題】蒸着マスクを基板上に搭載した時の蒸着マスクと基板との密着度を良くして、蒸着材の回り込みがない精度の良い蒸着が可能となる蒸着方法を提供する。【解決手段】蒸着通孔5が形成されたパターン形成領域4を備える蒸着マスク1を前記基板30の片側に搭載し、少なくとも前記蒸着マスク1の端部が支持してあって、前記基板30の蒸着マスク1が搭載される側とは反対側に押さえ治具50を介しておもり20を置く。これにより、蒸着マスク1と基板30との密着度が向上され、精度の良い蒸着ができる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
蒸着装置内の上方に配置した基板30に蒸着材を蒸着するために、蒸着通孔5が形成されたパターン形成領域4を備える蒸着マスク1を前記基板30の片側に搭載し、少なくとも前記蒸着マスク1の端部が支持してあって、前記基板30の蒸着マスク1が搭載される側とは反対側に押さえ治具50を介しておもり20を置くことを特徴とする蒸着方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BB03
, 4K029HA02
, 4K029HA03
, 4K029HA04
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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