特許
J-GLOBAL ID：200903002591942393

CVD用の複部構成の滑らかな基板支持部材

発明者：
バーグリー, ウィリアム, エー.

バーグリー, ウィリアム, エー. について

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ラミレッツ, エリッカ, エム.

ラミレッツ, エリッカ, エム. について

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ウォルガスト, ステファン, シー.

ウォルガスト, ステファン, シー. について


出願人/特許権者：
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド について


代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  山田 行一 ,  鈴木 康仁
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-592174
公開番号（公開出願番号）：特表2005-509275
出願日： 2002年05月02日
公開日（公表日）： 2005年04月07日
要約：
ガラス基板を支持する装置が提供される。一実施形態において、ベース構造部材(52)と、基板支持体とその上に支持されたガラス基板との間の摩擦および/または化学反応を最小限に抑えるようにされた表面を上部に有する上側最上部(54)とを有する基板支持体(50)が提供される。基板支持体は、ロードロックチャンバおよび熱プロセスを有するチャンバなどの様々なチャンバで利用されてよい。
請求項（抜粋）：
基板支持部材であって、 ベース部分と上側部分とを有する本体と、 上側で基板と接触し前記基板を支持するように適合された前記上側部分の表面とを含み、前記表面が、摩擦を最小限に抑え、上側に支持された基板との化学反応を低減するようにされた、基板支持部材。
IPC (2件)：
H01L21/68 ,  H01L21/205
FI (2件)：
H01L21/68 N ,  H01L21/205
Fターム (21件)：
4K030CA06 ,  4K030CA17 ,  4K030GA01 ,  4K030KA45 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA08 ,  5F031HA10 ,  5F031HA37 ,  5F031HA42 ,  5F031HA80 ,  5F031MA28 ,  5F031MA30 ,  5F031PA18 ,  5F031PA20 ,  5F045AA03 ,  5F045AF07 ,  5F045BB11 ,  5F045CA15 ,  5F045DP19 ,  5F045EM06
引用特許：
審査官引用 (4件)
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