特許
J-GLOBAL ID:200903002616504760

パターン状硬化樹脂層の形成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 渡部 剛 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-228084
公開番号(公開出願番号):特開平11-065130
出願日: 1997年08月25日
公開日(公表日): 1999年03月05日
要約:
【要約】【課題】湿式工程を伴うことなく、生産性が高く安価に微細なパターンを形成することが可能なパターン状硬化樹脂層の形成方法を提供する【解決手段】パターン状硬化樹脂層の形成方法は、支持体上に紫外線硬化性樹脂層を設けた紫外線硬化性貼着用シートの該紫外線硬化性樹脂層に切り込みを入れる工程、該紫外線硬化性シートを被貼着体に貼着する工程、紫外線硬化性樹脂層に紫外線をパターン状に照射してパターン状に硬化させる工程、該紫外線硬化性シートの支持体を未露光の紫外線硬化性樹脂層と共に剥離して被貼着体にパターン状硬化樹脂層を形成する工程からなる。紫外線硬化性樹脂層2に切り込みを入れるためには、表面に凸条を設けた基板3を樹脂組成物層面に押し当てればよい。
請求項(抜粋):
支持体上に紫外線硬化性樹脂層を設けた紫外線硬化性貼着用シートの該紫外線硬化性樹脂層に切り込みを入れる工程、該紫外線硬化性シートを被貼着体に貼着する工程、紫外線硬化性樹脂層に紫外線をパターン状に照射してパターン状に硬化させる工程、該紫外線硬化性シートの支持体を未露光の紫外線硬化性樹脂層と共に剥離して被貼着体にパターン状硬化樹脂層を形成する工程からなることを特徴とするパターン状硬化樹脂層の形成方法。
IPC (14件):
G03F 7/34 ,  C08F 2/50 ,  C09J 4/02 ,  C09J 5/00 ,  C09J 7/00 ,  C09J 11/00 ,  C09J167/07 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 524 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 512 ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/031 ,  C09J 7/02
FI (14件):
G03F 7/34 ,  C08F 2/50 ,  C09J 4/02 ,  C09J 5/00 ,  C09J 7/00 ,  C09J 11/00 ,  C09J167/07 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 524 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 512 ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/031 ,  C09J 7/02 B
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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