特許

J-GLOBAL ID：200903002672146915

ガスの固定化処理装置

発明者： 林 晋一郎 ,  藤 木 憲 治 ,  小 見 康 広
出願人/特許権者： 核燃料サイクル開発機構 ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-044219
公開番号（公開出願番号）：特開2001-235591
出願日： 2000年02月22日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：

【要約】【課題】 内側陰極の過度の消耗を防止することができるガスの固定化処理装置を提供する。【解決手段】 被処理ガスが内部に導入される金属製の外側陰極1と、この外側陰極1内に配置されたスパッタリングターゲットとなる金属製の内側陰極2と、を有する。外側陰極1の上部に金属製の陽極蓋3を設け、外側陰極1の底部に金属製の陽極底12を設ける。外側陰極1及び内側陰極2に電圧を印加する高圧電源6を有する。スパッタリングによる内側陰極2の消耗度合がその限界値に達する前にスパッタリングを停止させて内側陰極2の過度の消耗を防止するための安全防護手段100を有する。

請求項（抜粋）：

被処理ガスが内部に導入される金属製の外側陰極と、この外側陰極内に配置されたスパッタリングターゲットとなる金属製の内側陰極と、前記外側陰極の上部に設けられた金属製の陽極蓋と、前記外側陰極の底部に設けられた金属製の陽極底と、前記外側陰極及び前記内側陰極に電圧を印加する高圧電源と、スパッタリングによる前記内側陰極の消耗度合がその限界値に達する前にスパッタリングを停止させて前記内側陰極の過度の消耗を防止するための安全防護手段と、を備えたことを特徴とするガスの固定化処理装置。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ガスの固定化処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-340230   出願人：核燃料サイクル開発機構, 株式会社東芝