特許

J-GLOBAL ID：200903002674793918

走査型プローブ顕微鏡

発明者： 村山 健 ,  黒田 浩
出願人/特許権者： 日立建機株式会社
代理人 (1件)： 田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-099293
公開番号（公開出願番号）：特開平9-264897
出願日： 1996年03月28日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：

【要約】【課題】 走査型プローブ顕微鏡で、カンチレバーに設けた圧電薄膜によりZ軸のサーボを直接行い、測定時間を向上し、簡単な回路構成を実現する。【解決手段】 探針15を備えたカンチレバー13と、試料12と探針の相対位置を変化させるXY微動機構11を備える。探針が試料の表面を走査し、探針・試料間の原子間力等に基づき生じるカンチレバーたわみ量を制御することで試料の形状情報を得る。カンチレバーに電極17,18 に挟まれた圧電薄膜16を設け、カンチレバーホルダ14に加振用圧電体20を設ける。圧電体にはカンチレバーの共振周波数等の電圧を印加し、共振点の振動を生じさせる。その振動振幅が検知装置16,22 で検知される。圧電薄膜には、カンチレバーの共振周波数よりも低い周波数の電圧信号を印加し、たわみ変形を生じさせる。サーボ制御機構で、カンチレバーのたわみ変形に基づき、検知装置で検出されたカンチレバーの共振周波数の振動振幅が一定になるように、探針・試料間の距離を制御する。

請求項（抜粋）：

試料に臨む探針を備えたカンチレバーと、前記試料と前記探針の相対的位置を変化させる微動機構とを備え、前記微動機構によって前記探針が前記試料の表面を走査し、走査の間、前記探針と前記試料の間の相互作用に基づき生じる前記カンチレバーのたわみ量を制御することで前記試料の表面における物理情報を得る走査型プローブ顕微鏡において、前記カンチレバーに設けられた圧電薄膜と、加振用圧電体に対し前記カンチレバーの共振周波数またはその付近の周波数の電圧を印加し、前記カンチレバーに振動を生じさせる第1の電圧印加手段と、前記カンチレバーの前記共振周波数の振動振幅を検知する検知手段と、前記カンチレバーの前記圧電薄膜に前記カンチレバーの前記共振周波数よりも低い周波数の電圧を印加し、前記カンチレバーにたわみ変形を生じさせる第2の電圧印加手段と、前記カンチレバーの前記たわみ変形に基づき、前記検知手段で検出された前記共振周波数の前記振動振幅が一定になるように、前記探針と前記試料の間の距離を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30

FI (2件)：

G01N 37/00 F ,  G01B 21/30 Z

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 原子間力顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-169392   出願人：株式会社ニコン