特許
J-GLOBAL ID：200903037764456072
原子間力顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-169392
公開番号（公開出願番号）：特開平9-021816
出願日： 1995年07月05日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：
【要約】【目的】 軸方向駆動用アクチュエータを含めたカンチレバーの質量を減らして、高速な帰還制御を可能にすることにあり、且つ質量を減らすことにより発生する欠点を補うこと。【構成】 試料台に保持された試料表面に近接させてカンチレバーの探針を2次元走査し、探針と試料表面との間の原子間力または距離に対応する信号を用いて試料表面の形状を観察する、いわゆる原子間力顕微鏡において、前記カンチレバー1上には、一対の電極6,8に挟持された圧電膜7が設けられており、該圧電膜7は、前記電極6,8に信号電圧が印加されると、d31逆圧電効果により前記カンチレバー1を所定方向に変位させることを特徴とする原子間力顕微鏡。
請求項（抜粋）：
試料台に保持された試料表面に近接させてカンチレバーの探針を2次元走査し、探針と試料表面との間の原子間力または距離に対応する信号を用いて試料表面の形状を観察する、いわゆる原子間力顕微鏡において、前記カンチレバー上には、一対の電極に挟持された圧電膜が設けられており、該圧電膜は、前記電極に信号電圧が印加されると、d31逆圧電効果により前記カンチレバーを所定方向に変位させることを特徴とする原子間力顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
, H01J 37/28 Z
