特許
J-GLOBAL ID：200903002715308078

自動バックアップ装置

発明者：
平嶋 道男

平嶋 道男 について

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藤井 和章

藤井 和章 について

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浦辺 俊光

浦辺 俊光 について


出願人/特許権者：
国際電気株式会社

国際電気株式会社 について


代理人 (1件)： 油井 透 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-037857
公開番号（公開出願番号）：特開平10-177939
出願日： 1997年02月21日
公開日（公表日）： 1998年06月30日
要約：
【要約】【課題】 必要な処理履歴データが失われてしまうことを極力防止可能な自動バックアップ装置を提供する。【解決手段】 自動バックアップ装置は、半導体基板の処理時に、その処理履歴を示すデータが書き込まれるデータファイルF2のバックアップ条件を設定するためのバックアップ条件設定部50と、半導体基板の処理時に、バックアップ条件設定部50によって設定された条件が成立すると、データファイルF2を自動的にバックアップするブロックコントローラ20とを有する。
請求項（抜粋）：
基板の処理時に、その処理履歴を示すデータが書き込まれるデータファイルのバックアップ条件を設定するためのバックアップ条件設定手段と、前記基板の処理時に、前記バックアップ条件設定手段によって設定された前記バックアップ条件が成立すると、前記データファイルを自動的にバックアップするバックアップ手段とを備えたことを特徴とする自動バックアップ装置。
IPC (3件)：
H01L 21/02 ,  G05B 23/02 301 ,  G06F 12/16 310
FI (3件)：
H01L 21/02 Z ,  G05B 23/02 301 V ,  G06F 12/16 310 M
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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