材料の複数面の必要部分のみにレジスト層を迅速に形成する方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐々井克郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-025999
公開番号（公開出願番号）：特開平8-202043
出願日： 1995年01月20日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】成形品の複数の面の必要部分のみをレジストで迅速に覆う方法を提供する。【構成】プラスチック成形品2等を自転させずに直進移動させ、所定の位置で直進移動方向に直角な複数の方射方向角度から、該材料に向かって所望のパタ-ンにレジストを同調的にインクジェット吹き付けするか、全面に光硬化性レジストを塗布したプラスチック成形品2を自転させずに直進移動させ、所定位置で、直進移動方向に直角な複数の方射方向角度から、平面画像を通して同調的に露光して不要なレジストを除去する。

請求項（抜粋）：

必要部分にレジスト層を形成しようとするプラスチック成形品等の材料を治具に固定して自転させることなしに連続的又は間歇的に直進移動させ、該直進移動のそれぞれ所定の位置で、直進移動方向と直角の複数の方射方向角度から、該材料に向かって吹き付けの傾斜角を考慮に入れた所望のパタ-ンにレジストを該直進移動と同調的にインクジェット吹き付けすることからなる、該材料の複数面の必要部分のみにレジスト層を迅速形成する方法。

IPC (6件)：

G03F 7/16 , B41M 5/00 , C23C 18/31 , G03F 7/20 , G03F 7/30 , H05K 3/18

引用特許：

審査官引用 (3件)

レジスト塗布方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-198067 出願人：株式会社日立製作所
特開昭48-062432
特開昭64-003650

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