特許
J-GLOBAL ID:200903002741194609

ICハンドラー

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 山川 政樹 ,  山川 茂樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-158929
公開番号(公開出願番号):特開2006-337052
出願日: 2005年05月31日
公開日(公表日): 2006年12月14日
要約:
【課題】ヒーターのケーブルが絡んだり切断することを防ぎながら吸着ノズルを回動させることができるICハンドラーを提供する。【解決手段】電子部品5を吸着する吸着ノズル125を備える。吸着ノズル125に吸着された電子部品5を加熱するヒーター128を備える。吸着ノズルを昇降させる吸着ヘッド99を備える。吸着ヘッド99を支持するヘッドユニット75を部品載置部と検査用ソケットとの間で移動させる部品移動装置とを備える。吸着ヘッド99をヘッドユニット75に対して昇降する昇降部121と、昇降部121に対して上下方向の軸線回りに回動する回動部122とから構成する。吸着ノズル125を前記回動部122に一体に回転するように設ける。前記ヒーター128を昇降部121に設け、流動性と熱伝導性とを有する充填材131を介して回動部122と対向させた。【選択図】 図7
請求項(抜粋):
被検査用電子部品を吸着する吸着ノズルと、 前記吸着ノズルに吸着された電子部品を加熱するヒーターと、 前記吸着ノズルを昇降させる吸着ヘッドと、 この吸着ヘッドを支持するヘッドユニットを部品載置部と検査用ソケットとの間で移動させる部品移動装置とを備えたICハンドラーにおいて、 前記吸着ヘッドは、前記ヘッドユニットに支持され、このヘッドユニットに対して昇降する昇降部と、 前記昇降部に支持され、この昇降部に対して上下方向の軸線回りに回動する回動部とから構成され、 前記吸着ノズルは、前記回動部に一体に回転するように設けられ、 前記ヒーターは、前記昇降部に設けられ、流動性と熱伝導性とを有する充填材を介して前記回動部と対向していることを特徴とするICハンドラー。
IPC (1件):
G01R 31/26
FI (1件):
G01R31/26 Z
Fターム (5件):
2G003AD01 ,  2G003AG11 ,  2G003AG16 ,  2G003AH04 ,  2G003AH07
引用特許:
出願人引用 (4件)
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