特許
J-GLOBAL ID:200903002751354400

窒化化合物半導体発光素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 若林 忠 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-315451
公開番号(公開出願番号):特開平11-150335
出願日: 1997年11月17日
公開日(公表日): 1999年06月02日
要約:
【要約】【課題】 窒化化合物半導体発光素子において、しきい値電流密度の低いレーザー素子の製造方法を提供する。【解決手段】 窒化ガリウム系化合物半導体層の結晶面(0,0,0,1)を結晶成長工程で形成し、その結晶面を光導波路の端面あるいは共振器ミラー面として用いることを特徴とする半導体発光素子の製造方法。
請求項(抜粋):
基板上に窒化ガリウム系化合物半導体層の結晶面(0,0,0,1)を結晶成長工程で形成し、その結晶面を光導波路の端面あるいは共振器ミラー面として用いることを特徴とする半導体発光素子の製造方法。
IPC (2件):
H01S 3/18 ,  H01L 33/00
FI (2件):
H01S 3/18 ,  H01L 33/00 C
引用特許:
審査官引用 (1件)

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