特許
J-GLOBAL ID：200903002775462394

レーザビームの形状制御装置

発明者：
河口 紀仁

河口 紀仁 について

, 
川上 隆介

川上 隆介 について

, 
西田 健一郎

西田 健一郎 について


出願人/特許権者：
株式会社IHI

株式会社IHI について


代理人 (3件)： 堀田 実 ,  仲宗根 康晴 ,  野村 俊博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-012249
公開番号（公開出願番号）：特開2008-181918
出願日： 2007年01月23日
公開日（公表日）： 2008年08月07日
要約：
【課題】短軸方向のビーム強度を、均一化された形状とガウス分布形状のいずれにも制御できる光学系を有するレーザビームの形状制御装置を提供する。【解決手段】レーザ光源3と、該レーザ光源からのレーザビームを、その進行方向と垂直な断面が横長形状となるレーザビームにする光学系5と、を備える。該光学系は、上記横長形状の縦方向ビーム形状を制御する短軸光学系5aと、上記横長形状の横方向ビーム形状を制御する長軸光学系5bと、を有する。短軸光学系は、レーザビームを短軸方向において複数のビームに分割する短軸用レンズアレイ11a,11bと、該短軸用レンズアレイの下流に設けられ、複数のビームを重ね合わせる短軸用コンデンサレンズ13と、を有する。短軸用レンズアレイは光学系5に対し着脱可能になっている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板の表面に形成された半導体膜へ照射するレーザビームの形状制御装置であって、 レーザ光源と、 該レーザ光源からのレーザビームを、その進行方向と垂直な断面が横長形状となるレーザビームにする光学系と、を備え、 該光学系は、前記横長形状の縦方向ビーム形状を制御する短軸光学系と、前記横長形状の横方向ビーム形状を制御する長軸光学系と、を有し、 前記短軸光学系は、 レーザビームを短軸方向において複数のビームに分割する短軸用レンズアレイと、 該短軸用レンズアレイの下流に設けられ、前記複数のビームを重ね合わせる短軸用コンデンサレンズと、を有し、 前記短軸用レンズアレイは該光学系に対し着脱可能になっている、ことを特徴とするレーザビームの形状制御装置。
IPC (1件)：
H01L 21/268
FI (1件)：
H01L21/268 J
引用特許：
出願人引用 (4件)
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