ビームホモジナイザ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋敬四郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-314040
公開番号（公開出願番号）：特開平10-153746
出願日： 1996年11月25日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：

【要約】【課題】光線束の照射領域を長尺化かつ細線化しても光強度分布のトップフラット率の低下を抑制できるビームホモジナイザを提供する。【解決手段】複数の第1のシリンドリカルレンズが、第1の仮想平面に沿って配列した第1のシリンダアレイと、複数の第2のシリンドリカルレンズが、第1の仮想平面に平行な第2の仮想平面に沿って配列した第2のシリンダアレイを有する。第1のシリンドリカルレンズを透過した光線束が、対応する第2のシリンドリカルレンズに入射する。収束光学系が、第2のシリンダアレイを透過した光線束を収束する。収束光学系の出射側に第1のイメージングシリンドリカルレンズ系が配置されている。第1のイメージングシリンドリカルレンズ系は、収束光学系によりホモジナイズされた光照射領域を拡大または縮小し、被照射体の表面上に再度ホモジナイズさせる。

請求項（抜粋）：

複数の第1のシリンドリカルレンズが、各々の円柱面の母線同士及び光軸面同士を相互に平行にし、かつ光軸面に対して垂直な第1の仮想平面に沿って配列した第1のシリンダアレイと、複数の第2のシリンドリカルレンズが、各々の円柱面の母線同士及び光軸面同士を相互に平行にし、かつ前記第1の仮想平面に平行な第2の仮想平面に沿って配列した第2のシリンダアレイであって、各第2のシリンドリカルレンズが、対応する前記第1のシリンドリカルレンズと光軸面を共通にし、前記第1のシリンドリカルレンズを透過した光線束が、対応する第2のシリンドリカルレンズに入射する前記第2のシリンダアレイと、前記第2のシリンダアレイを透過した光線束を収束させる収束光学系と、前記収束光学系の出射側に配置された第1のイメージングシリンドリカルレンズ系であって、その円柱面の母線及び光軸面が、それぞれ前記第1のシリンドリカルレンズの円柱面の母線及び光軸面に平行であり、前記収束光学系によりホモジナイズされた光照射領域を拡大または縮小し、被照射体の表面上に再度ホモジナイズさせる前記第1のイメージングシリンドリカルレンズ系とを有するビームホモジナイザ。

引用特許：

審査官引用 (3件)

露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-136888 出願人：キヤノン株式会社
照明光学系
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-323718 出願人：株式会社ニコン
形状測定用光源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-081842 出願人：株式会社東海理化電機製作所

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