プローブ及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松永宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-204613
公開番号（公開出願番号）：特開2000-039446
出願日： 1998年07月21日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
要約：

【要約】【目的】先端部の耐摩耗性を大きくし、しかも電気的な接触抵抗を小さくすることにある。【解決手段】プローブは、導電性の外表面を有する長いプローブ母材と、該プローブ母材の少なくとも先端部表面に形成された硬質炭素膜であって硼素、窒素等の1種以上の不純物により導電性にされた硬質炭素膜とを備える。

請求項（抜粋）：

導電性の外表面を有する長いプローブ母材と、該プローブ母材の少なくとも先端部表面に形成された硬質炭素膜であって1種以上の不純物により導電性にされた硬質炭素膜とを備える、プローブ。

IPC (2件)：

G01R 1/067 , H01L 21/66

FI (2件)：

G01R 1/067 G , H01L 21/66 B

Fターム (8件)：

2G011AA17 , 2G011AC13 , 2G011AC14 , 2G011AC21 , 2G011AE03 , 4M106BA01 , 4M106DD03 , 4M106DD18

引用特許：

審査官引用 (5件)

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