特許
J-GLOBAL ID:200903002854672264
コンタクトプローブ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
深見 久郎 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-113548
公開番号(公開出願番号):特開2003-307525
出願日: 2002年04月16日
公開日(公表日): 2003年10月31日
要約:
【要約】【課題】 コンタクトプローブにおいて、検査時に流れる電流についての電気抵抗およびインダクタンスを低減する。【解決手段】 コンタクトプローブは、被検査物に接触させるためのプランジャ部1と、一端においてプランジャ部1を支持するスプリング部2と、スプリング部2の他端とリード線とを電気的に接続するリード線接続部6と、導通パス部7とを備える。プランジャ部1とスプリング部2と導通パス部7とは一体形成されている。導通パス部7は、プランジャ部1が押圧されてスプリング部2が変形するときにプランジャ部1と接触し得る程度にプランジャ部1に近接した位置にまで延在している。
請求項(抜粋):
被検査物に接触させるためのプランジャ部と、一端において前記プランジャ部を支持するスプリング部と、前記スプリング部の他端とリード線とを電気的に接続するリード線接続部と、導通パス部とを備え、前記プランジャ部と前記スプリング部と前記導通パス部とは一体形成されており、前記導通パス部は、前記プランジャ部が押圧されて前記スプリング部が変形するときに前記プランジャ部と接触し得る程度に前記プランジャ部に近接した位置にまで延在している、コンタクトプローブ。
IPC (2件):
FI (2件):
G01R 1/067 C
, H01L 21/66 B
Fターム (8件):
2G011AA09
, 2G011AB01
, 2G011AB03
, 2G011AC31
, 4M106AA01
, 4M106BA01
, 4M106DD03
, 4M106DD09
引用特許:
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