特許
J-GLOBAL ID：200903002911438370
石英ガラスるつぼの白点欠陥を最小限にする方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 晃 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-582623
公開番号（公開出願番号）：特表2002-530258
出願日： 1999年11月19日
公開日（公表日）： 2002年09月17日
要約：
【要約】るつぼ製造工程において用いられるアーク又はプラズマ発生用の電極からシリカ粒子が脱落することにより白色欠陥が生じる。シリカ粒子は、電極の一部にシリカ蒸気が凝結することにより形成される。本発明は、電極上の凝結が起こりやすい部分に非反応性ガスを流すことにより電極におけるシリカ粒子の凝結を防止する。
請求項（抜粋）：
少なくとも1つのシリカるつぼを製造するるつぼ製造方法において、 るつぼ基体を準備する工程と、 アーク又はプラズマ放電を発生する複数の電極を準備する工程と、 上記アーク又はプラズマ放電を介してシリカ粒子を上記るつぼ基体に導入して溶融させる工程と、 上記電極の一部におけるシリカ蒸気の凝結を防止して該電極の一部を保護する工程と、 るつぼを最終形状に冷却する工程とを有するるつぼ製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C03B 20/00 H
, C30B 15/10
4G014AH08
, 4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077CF10
, 4G077EG02
, 4G077PD01
