特許
J-GLOBAL ID：200903002930801540
アルケンリガンド前駆体および合成方法
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-288869
公開番号（公開出願番号）：特開2000-186053
出願日： 1999年10月08日
公開日（公表日）： 2000年07月04日
要約：
【要約】【課題】 低い抵抗率および良好な接着特性を有し、銅を効果的に堆積できる銅前駆体を提供する。【解決手段】 選択された表面に金属を化学蒸着(CVD)により堆積させるための揮発性金属(M)前駆体化合物であって、前駆体化合物が、M+1(ヘキサフルオロアセチルアセトネート)と、第1の炭素原子への第1および第2結合、ならびに第2の炭素原子への第3および第4結合を有するアルケンリガンドであって、第1、第2、第3および第4結合が、H、C1からC8アルキル、C1からC8ハロアルキル、C1からC8アルコキシルを含む群から選択され、これによって高い金属堆積速度を可能にする安定した前駆体が形成されるアルケンリガンドとを含む前駆体化合物。
請求項（抜粋）：
選択された表面に金属を化学蒸着(CVD)により堆積させるための揮発性金属(M)前駆体化合物であって、該前駆体化合物が、M+1(ヘキサフルオロアセチルアセトネート)と、第1の炭素原子への第1および第2結合、ならびに第2の炭素原子への第3および第4結合を有するアルケンリガンドであって、該第1、第2、第3および第4結合が、H、C1からC8アルキル、C1からC8ハロアルキル、C1からC8アルコキシルを含む群から選択され、これによって高い金属堆積速度を可能にする安定した前駆体が形成されるアルケンリガンドと、を含む前駆体化合物。
IPC (4件)：
C07C 11/02
, C07C 49/92
, C23C 16/18
, C07F 1/08
C07C 11/02
, C07C 49/92
, C23C 16/18
, C07F 1/08 B
