薄膜トランジスタおよび液晶表示装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：樺澤襄 , 樺澤聡 , 山田哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-164309
公開番号（公開出願番号）：特開2006-339517
出願日： 2005年06月03日
公開日（公表日）： 2006年12月14日
要約：

【課題】信頼性を向上できる薄膜トランジスタを提供する。【解決手段】活性層5のソース領域7およびドレイン領域8の長手方向の中央部から両端部に向けてコンタクトホール13a,13b,13c,13d,13eの間隔を徐々に狭くする。通電時の活性層5の放熱量が長手方向の中央部より両端部のほうが小さい。活性層5の長手方向の中央部での放熱性が両端部での放熱性より良くなる。活性層5のチャネル領域に電流が流れて自己発熱したときに、チャネル領域の長手方向の中央部での局所的な温度上昇を抑制できる。通電時の自己発熱をチャネル領域全体に亘って平均化できる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

長手状のチャネル領域と、このチャネル領域の長手方向の両側に設けられ互いに絶縁され前記チャネル領域の長手方向に沿った長手方向を有するソース領域およびドレイン領域を有する半導体層と、この半導体層の前記チャネル領域に離間対向して設けられたゲート電極と、このゲート電極の両側に位置して前記半導体層のソース領域およびドレイン領域に連通しこれらソース領域およびドレイン領域の長手方向の中央部より両端部の通電時の放熱量を小さくさせる複数の連通部と、これら複数の連通部に設けられ前記半導体層のソース領域およびドレイン領域に電気的に接続され互いに絶縁されたソース電極およびドレイン電極とを具備したことを特徴とする薄膜トランジスタ。

IPC (6件)：

H01L 29/786 , G02F 1/136 , H01L 21/20 , H01L 21/28 , H01L 21/336 , H01L 21/768

FI (6件)：

H01L29/78 616T , G02F1/1368 , H01L21/20 , H01L21/28 L , H01L29/78 627G , H01L21/90 C

Fターム (49件)：

2H092GA29 , 2H092JA25 , 2H092JA28 , 2H092JA29 , 2H092JA38 , 2H092JA46 , 2H092KA04 , 2H092KA05 , 2H092MA27 , 2H092MA30 , 2H092NA21 , 2H092NA25 , 4M104AA09 , 4M104DD07 , 4M104FF01 , 4M104FF11 , 4M104GG09 , 4M104GG10 , 4M104GG14 , 4M104HH20 , 5F033GG04 , 5F033NN34 , 5F033QQ37 , 5F033UU01 , 5F033VV15 , 5F033XX22 , 5F110AA14 , 5F110AA23 , 5F110BB01 , 5F110CC02 , 5F110DD02 , 5F110DD11 , 5F110EE02 , 5F110FF27 , 5F110GG02 , 5F110GG13 , 5F110GG42 , 5F110HJ13 , 5F110HJ23 , 5F110HL14 , 5F110HM12 , 5F110NN02 , 5F110NN33 , 5F110PP03 , 5F110QQ11 , 5F152CC02 , 5F152CE05 , 5F152FF03 , 5F152FF28

引用特許：

出願人引用 (1件)

表示装置用電極基板
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-038572 出願人：東芝松下ディスプレイテクノロジー株式会社

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