特許
J-GLOBAL ID：200903002964785927
複合硬質膜およびその膜の成膜方法ならびにその膜を被覆した耐摩耗性部材
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-005584
公開番号（公開出願番号）：特開平10-204658
出願日： 1997年01月16日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：
【要約】【課題】 高硬度化、耐摩耗性および表面保護機能向上のため、各種工具、機械部品等の基材表面の耐摩耗性を著しく向上させることができる複合硬質膜およびその製造方法ならびにその膜を表面に被覆した耐摩耗性部材を提供する。【解決手段】 図1に示す成膜装置を用いて成膜される第1化合物および第2化合物を含む複合硬質膜であって、第1化合物が4a族、5a族、6a族、鉄およびCoからなるグループから選択された少なくとも1種類よりなる材料、その窒化物、炭化物、酸化物、炭窒化物または硼化物のいずれかであり、第2化合物がB、CおよびSiからなるグループから選択された少なくとも1種類よりなる材料、その窒化物または炭化物のいずれかであり、第1化合物および第2化合物のそれぞれが粒構造を有している。
請求項（抜粋）：
第1化合物および第2化合物を含む複合硬質膜であって、前記第1化合物が4a族、5a族、6a族、鉄およびCoからなるグループから選択された少なくとも1種類よりなる材料、その窒化物、炭化物、酸化物、炭窒化物または硼化物のいずれかであり、前記第2化合物がB、CおよびSiからなるグループから選択された少なくとも1種類よりなる材料、その窒化物または炭化物のいずれかであり、前記第1化合物および前記第2化合物のそれぞれが粒構造を有する、複合硬質膜。
IPC (2件)：
FI (5件)：
C23C 30/00 C
, C23C 14/06 A
, C23C 14/06 B
, C23C 14/06 H
, C23C 14/06 P
