圧力センサの取付け

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川口義雄 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-526915
公開番号（公開出願番号）：特表平10-500206
出願日： 1995年04月18日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】流体の圧力を測定する容量性圧力センサは、セラミック材料、特にガラスセラミック材料製で、周知の態様で内部コンデンサプレートを有しているセンサ要素(1)を備えている。センサ要素(1)は板状であり、包囲している支持リング(5”)に接合されている。支持リング(5”)は金属製であり、センサ要素(1)の縁部の線の周囲の環状領域において、セラミックス、特にガラスセラミックス製の接合部(3’)によってセンサ要素(1)に接合されている。支持リング(5”)はその内面の突起(15)によって形成されたショルダを有することができ、このショルダにセンサ要素(1)の領域が乗置し、かつこのセンサのところに接合部(3’)か形成される。

請求項（抜粋）：

流体を収納している容積に接続できるハウジングと、セラミック、特にガラスセラミック材料をベースとした部品ないし構成要素で構成されており、センサ要素に対する外部圧力による影響で変化する電気的に検出可能な量を備えており、二つの大きい表面と周縁を延びている縁部表面を有する板体の形状を有しているセンサ要素と、センサ要素を包囲しており、金属製であり、ハウジングに接続されている支持リングとを備えている流体の圧力を測定する圧力センサにおいて、支持リングの金属材料がセンサ要素のセラミック材料の熱線形膨張係数と本質的に等しい熱線形膨張係数を有していることを特徴とする圧力センサ。

引用特許：

審査官引用 (2件)

静電容量圧力変換装置及びそのセル
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-339256 出願人：ザビーオーシーグループインコーポレイテッド
特開平1-182729

前のページに戻る