特許

J-GLOBAL ID：200903003000188438

ステージ装置及び露光装置

発明者： 田中 慶一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡部 温 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-036147
公開番号（公開出願番号）：特開2003-243282
出願日： 2002年02月14日
公開日（公表日）： 2003年08月29日
要約：

【要約】【課題】 構造が単純で、制御性に優れた非電磁アクチュエータを用いたステージ装置及び露光装置を提供する。【解決手段】 スライダを駆動するインチワーム型のアクチュエータ1は2つのセグメント10、20からなる。各セグメントは、スライダからガイドバーに当てられるとともに、スライダをガイドバーの長手方向に押す押圧部13、23と、押圧部をガイドバー表面に押し当て・引き離しを行う第1圧電素子11、21と、押圧部を、ガイドバーの長手方向に押す第2圧電素子12、22と、を有する。

請求項（抜粋）：

長手方向に延びるガイドバーと、該バーの長手方向に沿って駆動・位置決めされるスライダと、該スライダを駆動するインチワーム型のアクチュエータと、を具備するステージ装置であって、前記アクチュエータが、前記スライダから前記ガイドバーに当てられるとともに、前記スライダを前記ガイドバーの長手方向に押す駆動力伝達部と、該伝達部を前記ガイドバー表面に押し当て・引き離しを行う第1の圧電素子(垂直駆動圧電素子)と、前記伝達部を、前記ガイドバーの長手方向に押す第2の圧電素子(水平駆動圧電素子)と、を有することを特徴とするステージ装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00 ,  H01J 37/20 ,  H01L 21/68 ,  H02N 2/00

FI (6件)：

G03F 9/00 H ,  H01J 37/20 D ,  H01L 21/68 K ,  H02N 2/00 C ,  H01L 21/30 541 L ,  H01L 21/30 503 A

Fターム (30件)：

5C001AA03 ,  5C001AA04 ,  5C001CC06 ,  5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031HA16 ,  5F031HA53 ,  5F031JA02 ,  5F031JA22 ,  5F031JA32 ,  5F031KA06 ,  5F031LA10 ,  5F031MA27 ,  5F031NA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC17 ,  5F056CB21 ,  5F056EA14 ,  5H680BB09 ,  5H680BB13 ,  5H680BB19 ,  5H680BB20 ,  5H680BC10 ,  5H680DD23 ,  5H680DD27 ,  5H680DD28 ,  5H680DD59 ,  5H680DD95 ,  5H680FF33

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平2-159982
  
• 送り装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-064047   出願人：株式会社東京テクノロジー

引用文献：

審査官引用 (1件)

• 熊本県地域結集型共同研究事業「超精密半導体計測技術開発」