特許
J-GLOBAL ID:200903077568591575
送り装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松村 修
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-064047
公開番号(公開出願番号):特開2001-337186
出願日: 2001年03月07日
公開日(公表日): 2001年12月07日
要約:
【要約】【課題】伸長変形部と剪断変形部とを有する駆動脚を利用して可動子を送るようにした送り装置において、とくに剪断変形に伴う送り動作の際に駆動脚が受ける反力による慣性モーメントおよびこの慣性モーメントによって発生する横ブレを防止するとともに、剪断変形部の急な変形動作による駆動脚のスリップを防止する。【解決手段】駆動脚21、22を支持ブロック50に固着するとともに、支持ブロック50を取付け台46に張設されたステンレス鋼板49上に固着し、しかも背面側から押圧ばね55によって支持ブロック50を前方側に押圧するとともに、駆動ユニット18の駆動脚21、22のとくに剪断変形部24に加えられる電圧を波形整形回路50によって波形整形し、立上り部分をS字形に緩衝するようにしたものである。
請求項(抜粋):
伸縮変形部と剪断変形部とを有する駆動脚を備え、前記伸縮変形部を伸長させて前記駆動脚の先端部を可動子または固定側と接触させた状態で前記剪断変形部を送り方向または逆方向に剪断変形させて可動子を送るようにした送り装置において、前記駆動脚を面方向の変形がほぼ無視しうる薄板上に取付け、前記薄板の厚さ方向に押圧手段によって押圧して前記駆動脚の先端部を可動子または固定側に接触させることを特徴とする送り装置。
IPC (3件):
G12B 5/00
, B23Q 5/28
, H01L 21/68
FI (3件):
G12B 5/00 T
, B23Q 5/28 C
, H01L 21/68 K
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開平4-221792
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特公平3-081119
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位置微調整装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-119144
出願人:三菱重工業株式会社
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