特許
J-GLOBAL ID：200903003040358050
表面平坦化方法および表面平坦化装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-136429
公開番号（公開出願番号）：特開平10-335276
出願日： 1997年05月27日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】【課題】パターンサイズに依存せず、平坦化力および研摩量均一性が優れ、研摩スラリの使用が不要な表面平坦化方法および表面平坦化装置を提供する。【解決手段】砥石より弾性率の低い砥石支持層上に砥石を保持して、ウエハ表面を研摩する。砥石は複数のセグメントに分割するか、あるいは溝によって複数の区域に区分できる。【効果】大きなパターンの平坦化とウエハ面内での均一な研摩が、研摩スラリを使用することなしに実現される。
請求項（抜粋）：
表面上に所望のパターンが形成されてあるウエハをウエハホルダに保持するとともに、砥石を当該砥石より弾性率が低い砥石保持層上に保持し、上記ウエハと上記砥石を対向して所定の圧力で互いに接触させて、上記ウエハおよび上記砥石の少なくとも一方を面方向に動かすことにより、上記パターンを研磨することを特徴とする表面平坦化方法。
IPC (2件)：
H01L 21/304 321
, H01L 21/3205
H01L 21/304 321 E
, H01L 21/88 K
