特許
J-GLOBAL ID：200903003050371950
窒化アルミニウム基板焼成用治具とその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-153988
公開番号（公開出願番号）：特開2006-327872
出願日： 2005年05月26日
公開日（公表日）： 2006年12月07日
要約：
【課題】高品質の窒化アルミニウム基板の形成が可能であるとともに、製造コストが安く、耐久性に優れた窒化アルミニウム基板焼成用治具とその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】焼結助剤を含有しない窒化アルミニウムを主成分とする成形体を非酸化雰囲気下で焼成して得られた焼結体の上面に、焼結助剤を含有する窒化アルミニウムを主成分とする脱脂済みの成形体を接触させ、非酸化雰囲気下で少なくとも1回焼成した後、この焼結体の表面を研削する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
窒化アルミニウムを主成分とし、焼結助剤が添加されずに焼成された後、焼結助剤成分と接触した状態で再度焼成され、この焼結助剤成分が表層に拡散されたことを特徴とする窒化アルミニウム基板焼成用治具。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C04B35/64 J
, C04B35/58 104U
4G001BA03
, 4G001BA07
, 4G001BA09
, 4G001BA36
, 4G001BB03
, 4G001BB07
, 4G001BB09
, 4G001BB36
, 4G001BC54
, 4G001BC72
, 4G001BC73
, 4G001BD07
