特許
J-GLOBAL ID：200903003051288372
パーフロロカーボン類測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 勝彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-187866
公開番号（公開出願番号）：特開2001-013128
出願日： 1999年07月01日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：
【要約】【課題】 フッ素系洗浄剤の有無に関わり無く、管理濃度程度のパーフロロカーボン類を高い精度で測定すること。【解決手段】 第1の反応炉1と、水スクラバー手段4と、水分透過チューブ4と、第2の反応炉9と、酸性ガス検出手段である検知紙式ガス検出装置12とを直列に接続するともに、第1の反応炉1の加熱温度をフッ素系洗浄剤の熱分解が可能で、かつパーフロロカーボン類を可及的に変性させない温度に、また第2の反応炉9の加熱温度をパーフロロカーボン類が熱分解する温度に設定し、第1の反応炉1でフッ素系洗浄剤だけを酸性ガス類に熱分解して水スクラバー手段により除去し、水スクラバー手段4を通過したパーフロロカーボン類の過剰な水分を除去してから第2の反応炉9で酸性ガスに確実に熱分解する。
請求項（抜粋）：
第1の反応炉と、水スクラバー手段と、水分透過管路と、第2の反応炉と、酸性ガス検出手段とを直列に接続するともに、第1の反応炉の加熱温度をフッ素系洗浄剤の熱分解が可能で、かつパーフロロカーボン類を可及的に変性させない第1の温度に、また第2の反応炉の加熱温度を前記パーフロロカーボン類が熱分解する第2の温度に設定してなるパーフロロカーボン類測定装置。
IPC (2件)：
FI (4件)：
G01N 31/00 Y
, G01N 31/00 Q
, G01N 31/00 V
, G01N 1/28 K
2G042AA01
, 2G042BA01
, 2G042BA10
, 2G042BD02
, 2G042CA02
, 2G042CB03
, 2G042DA05
, 2G042FA12
, 2G042FB05
, 2G042FC01
, 2G042GA01
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (2件)
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