電磁ビームを発生する装置及び装置の動作方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：江崎光史 , 奥村義道 , 鍛冶澤實
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-518790
公開番号（公開出願番号）：特表2009-543083
出願日： 2007年07月11日
公開日（公表日）： 2009年12月03日
要約：

本発明は、装置が、電磁ビーム、特にX線ビーム又は極端紫外線ビームを発生するように構成されており、その際、粒子、特に電子が、調節可能な集束装置(22)によってターゲット(5)に向けて転向されるので、粒子によってターゲット(5)において電磁ビームが発生され、少なくとも1つの対象物、特に校正対象物(70)が、電磁ビームによって通過照射され、かつ対象物の通過ビーム画像が撮影され、1つ又は複数の通過ビーム画像が自動的に評価され、かつ評価に依存して、集束装置(22)が調節される装置の動作方法に関する。

請求項（抜粋）：

装置が、電磁ビーム、特にX線ビーム又は極端紫外線ビームを発生するように構成されており、その際、 -粒子、特に電子が、調節可能な集束装置(22)によってターゲット(5)に向けて転向されるので、粒子によってターゲット(5)において電磁ビームが発生され、 -少なくとも1つの対象物、特に校正対象物(70)が、電磁ビームによって通過照射され、かつ対象物の通過ビーム画像が撮影され、 -1つ又は複数の通過ビーム画像が自動的に評価され、かつ -評価に依存して、集束装置(22)が調節されることを特徴とする装置の動作方法。

IPC (1件)：

G01N 23/04

FI (1件)：

G01N23/04

Fターム (19件)：

2G001AA01 , 2G001AA07 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001CA07 , 2G001EA06 , 2G001FA06 , 2G001GA06 , 2G001GA09 , 2G001GA11 , 2G001HA07 , 2G001HA13 , 2G001HA14 , 2G001JA02 , 2G001JA04 , 2G001JA14 , 2G001SA02 , 2G001SA11 , 2G001SA12

引用特許：

審査官引用 (6件)

コンピュータ断層撮影装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-360856 出願人：東芝ITコントロールシステム株式会社
放射線映像装置及びその焦点調整方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-108240 出願人：三星電子株式会社
特開平4-309900

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