特許

J-GLOBAL ID：200903003070184308

処理液吐出ノズルおよび基板処理装置

発明者： 橋本 光治
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-030195
公開番号（公開出願番号）：特開平11-226474
出願日： 1998年02月12日
公開日（公表日）： 1999年08月24日
要約：

【要約】【課題】 カップの性能を維持しつつ処理液の吐出開始時の衝撃による処理不良を防止することができる処理液吐出ノズルおよびそれを備えた基板処理装置を提供することである。【解決手段】 現像液吐出ノズル10のノズル本体部20は上部材11、シート状パッキン13および下部材12をボルト14,15で接合することにより構成される。下部材12の下面には複数の吐出口22が設けられている。複数の吐出口22の少なくとも一部は基板の外周部に沿うように円弧状に配列されている。下部材12の下面におけるカップ側の縁部に沿って切り欠き凹所23が形成されている。複数の吐出口22を基板の外周部とカップのテーパ部の内側縁部との間に位置させた状態で現像液の吐出を開始する。

請求項（抜粋）：

カップ内に保持された基板に処理液を吐出する処理液吐出ノズルであって、下面に複数の吐出口を有するノズル本体部を備え、前記複数の吐出口の少なくとも一部が基板の外周部に沿うように配列されたことを特徴とする処理液吐出ノズル。

IPC (4件)：

B05C 11/08 ,  B05C 5/00 101 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/304 643

FI (5件)：

B05C 11/08 ,  B05C 5/00 101 ,  H01L 21/304 643 A ,  H01L 21/30 564 C ,  H01L 21/30 569 C

引用特許：

審査官引用 (1件)

• レジスト塗布装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-101180   出願人：三菱電機株式会社, 菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社