特許

J-GLOBAL ID：200903003075559571

感光性組成物

発明者： 渡邊 健夫 ,  木下 博雄 ,  遊佐 真一 ,  早川 正道
出願人/特許権者： 兵庫県 ,  東洋合成工業株式会社
代理人 (2件)： 栗原 浩之 ,  村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-025990
公開番号（公開出願番号）：特開2008-191413
出願日： 2007年02月05日
公開日（公表日）： 2008年08月21日
要約：

【課題】 酸発生剤とフォトレジストの主成分である酸解離基を有するポリマーとの相溶性が悪いという問題点を伴うことがなく、良好なパターンを得ることができる感光性組成物を提供する。【解決手段】重合体ではない多価フェノールに下記式(1)で表される有機基が導入された感光性多価フェノール誘導体を有機溶媒に溶解させた溶液とする。【化1】(式(1)において、R1は直鎖もしくは分岐の炭素数2〜9の2価の有機基であり、R2〜R5はそれぞれ独立に水素原子又は直鎖もしくは分岐の炭素数1〜3の有機基であり、R6及びR7はそれぞれ独立に有機基であり、R6とR7とは一緒になって2価の有機基を形成していてもよい。X-は陰イオンを表す。)【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

重合体ではない多価フェノールに下記式(1)で表される有機基が導入された感光性多価フェノール誘導体を有機溶媒に溶解させた溶液であることを特徴とする感光性組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F7/004 503A ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R

Fターム (19件)：

2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AA11 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE07 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ04 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4C036AD02 ,  4C036AD04 ,  4C036AD18 ,  4H006AA03 ,  4H006AB76

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 米国特許第4491628号