特許
J-GLOBAL ID：200903003093053910
粒子計測装置および方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉信 興
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-125149
公開番号（公開出願番号）：特開2007-298327
出願日： 2006年04月28日
公開日（公表日）： 2007年11月15日
要約：
【課題】 粒径および3次元位置を計測する。パラメータの校正のための作業の簡易化。【解決手段】 レーザビームLを出射するレーザ光源10;レーザビームLを、第1ビームL1(L1s),第2ビームL2および第3ビームL3に分岐するビームスプリッタBS1,BS2;第1ビームL1sを計測対象領域に照射する第1光学手段M1,M2,SL;計測対象領域を照射する第1ビームL1sに対して、第1ビームが当たった粒子の0次反射光と1次屈折光の光強度が同等となる散乱角θとなる受光角で計測対象領域を撮影する第1電子カメラ20;第2ビームL2を、第1参照光として第1電子カメラ20に投射する第2光学手段M3,M4;および、第1電子カメラ20の光軸に対してステレオ角φをなし、かつ第3ビームL3が第2参照光として投射される第2電子カメラ21;を備える粒子計測装置。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
レーザビームを出射するレーザ光源;
前記レーザビームを、第1ビーム,第2ビームおよび第3ビームに分岐するビームスプリッタ;
第1ビームを計測対象領域に照射する第1光学手段;
計測対象領域を照射する第1ビームに対して、第1ビームが当たった粒子の0次反射光と1次屈折光の光強度が同等となる散乱角θとなる受光角で計測対象領域を撮影する第1電子カメラ;
第2ビームを第1参照光として第1電子カメラに投射する第2光学手段;
第1電子カメラの光軸に対してステレオ角φをなし、かつ第3ビームが第2参照光として投射される第2電子カメラ;
を備える粒子計測装置。
IPC (3件)：
G01B 11/08
, G01B 11/00
, G01P 3/36
G01B11/08 G
, G01B11/00 H
, G01P3/36 C
2F065AA04
, 2F065AA26
, 2F065BB05
, 2F065CC00
, 2F065EE00
, 2F065FF05
, 2F065FF54
, 2F065GG04
, 2F065GG08
, 2F065HH03
, 2F065HH05
, 2F065HH14
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ26
, 2F065LL12
, 2F065LL46
, 2F065QQ38
, 2F065SS02
, 2F065SS13
